TEOS merupakan bahan yang banyak digunakan pada berbagai bidang industri. Salah satu sumber penghasil silika (SiO2) adalah abu sekam padi. Tujuan dari penelitian ini untuk mengetahui pengaruh waktu reaksi terhadap viskositas dan densitas dalam pembuatan TEOS dari silika sekam padi. Silika hasil dari pemurnian abu sekam padi digunakan dalam proses pembuatan TEOS dengan mengkaji variasi waktu reaksi. Sebanyak 1 mol etanol (58,4 mL) dan 0,25 mol (7 gram) serbuk silika ditambahkan kedalam 250 ml labu alas bulat diikuti oleh penambahan katalis CuO/Al2O3 sebesar 1 gram kemudian campuran direfluks selama 30, 35, 40, 45 dan 50 jam dengan pengadukan yang efektif dan temperatur sebesar 90°C. Hasil karakterisasi FTIR menunjukan bahwa terdapat 3 gugus fungsi utama yaitu gugus -OH, Si-O dan C-O pada kelima sampel hasil sintesis TEOS. Bilangan gelombang gugus fungsi –OH yang didapatkan berkisar antara 3349 cm-1 – 3315 cm-1; gugus fungsi Si-O berkisar 813 cm-1- 606 cm-1 dan gugus fungsi C-O berkisar antara 1105 cm-1 – 1040 cm-1. Waktu reaksi tidak berpengaruh signifikan terhadap viskositas dan densitas TEOS yang dihasilkan.