Penelitian ini merupakan penelitian pengembangan modul berbasis STEM-Inkuiri pada materi transformasi energi dalam sel. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui kelayakan modul berbasis STEM-Inkuiri untuk meningkatkan literasi sains. Penelitian ini menggunakan alur desain formatif evaluation Tessmer. Subjek dalam penelitian ini adalah para ahli yang terdiri akademisi dan praktisi. Pengumpulan data melalui angket validasi yang dilakukan oleh 5 orang ahli dan dianalisis validitas menggunakan formula Aiken’V serta analisis reliabilitas menggunakan  formulaBorich dan Alpha Cronbach dengan bantuan SPSS 24. Kelayakan modul, rencana pelaksanaan pembelajaran dan tes hasil literasi dilihat dari hasil expert review secara berturut-turut sebesar 0,82, 0,86 dan 0,87 dengan kriteria valid berdasarkan standar yang telah diberikan oleh Aiken.Sedangkan nilai reliabilitas berdasarkan borich secara berturut-turut sebesar 78,99 %, 86,18 % dan 87,89 %serta nilai reliabilitas berdasarkan Alpha Cronbach secara berturut-turut sebesar 0,94, 0,91 dan 0,87  yang artinya memiliki reliabilitas “Sangat Tinggi”. Hal ini menunjukkan bahwa pengembangan modul transformasi energi dalam sel berbasis STEM-Inkuiri telah memenuhi kriteria valid dan reliabel sehingga layak untuk digunakan.

Kata kunci: modul, STEM, inkuiri, literasi sains