Keterampilan proses sains yang masih rendah membuat sebagian peserta didik belum mampu menganalisis hasil percobaan dengan baik. Oleh karena itu, penelitian ini bertujuan untuk menghasilkan modul fisika suhu dan kalor menggunakan model pembelajaran inkuiri terbimbing yang layak untuk meningkatkan keterampilan proses sains. Penelitian ini termasuk penelitian pengembangan dengan model pengembangan ADDIE. Subjek uji coba penelitian adalah peserta didik kelas XI B SMA Negeri 10 Banjarmasin. Teknik pengumpulan data menggunakan instrumen lembar validasi, lembar keterlaksanaan pembelajaran, tes hasil belajar, dan lembar pengamatan keterampilan proses sains. Teknik analisis data menggunakan uji validitas, praktikalitas, efektivitas, dan perhitungan pengamatan keterampilan proses sains. Hasil penelitian menunjukkan bahwa validitas modul berkategori sangat baik, praktikalitas berdasarkan keterlaksanaan RPP berkategori sangat baik, efektivitas modul berkategori sedang dan pencapaian keterampilan proses sains berkategori sangat baik. Berdasarkan hasil tersebut, dapat disimpulkan modul fisika suhu dan kalor menggunakan model pembelajaran inkuiri terbimbing untuk meningkatkan keterampilan proses sains adalah layak digunakan dalam pembelajaran fisika.

Kata kunci: Inkuiri terbimbing, Keterampilan proses sain, Modul