Keterampilan proses sains peserta didik yang masih rendah membuat sebagian peserta didik belum mampu menganalisis hasil percobaan dengan baik. Oleh karena itu, penelitian ini bertujuan untuk menghasilkan modul fisika suhu dan kalor menggunakan model pembelajaran inkuiri terbimbing yang layak untuk meningkatkan keterampilan proses sains. Penelitian ini termasuk penelitian pengembangan dengan model pengembangan ADDIE. Subjek uji coba penelitian adalah peserta didik kelas XI-C SMA Negeri 11 Banjarmasin. Teknik pengumpulan data menggunakan instrumen lembar validasi, lembar keterlaksanaan pembelajaran, tes hasil belajar, dan lembar pengamatan keterampilan proses sains. Teknik analisis data menggunakan uji validitas, kepraktisan, efektivitas, dan perhitungan pengamatan keterampilan proses sains. Hasil penelitian menunjukkan bahwa validitas modul berkategori sangat baik, kepraktisan berdasarkan keterlaksanaan kegiatan pembelajaran berkategori sangat baik, efektivitas modul berkategori tinggi dan pencapaian keterampilan proses sains berkategori tinggi. Berdasarkan hasil tersebut, dapat disimpulkan modul ajar fisika menggunakan model guided inquiry learning untuk meningkatkan keterampilan proses sains peserta didik pada materi suhu dan kalor adalah layak digunakan dalam pembelajaran fisika.