Keterampilan proses sains merupakan keterampilan yang penting bagi peserta didik agar memiliki kemampuan berpikir tingkat tinggi, namun kenyataan di lapangan menunjukkan bahwa keterampilan proses sains peserta didik masih rendah dan belum adanya perangkat pembelajaran yang mendukung peningkatan keterampilan ini. Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis kelayakan modul ajar fisika menggunakan model guided inquiry based learning untuk meningkatkan keterampilan proses sains peserta didik berdasarkan kriteria validitas, kepraktisan, dan efektivitas. Penelitian ini termasuk penelitian dan pengembangan dengan menggunakan model ADDIE. Uji coba penelitian menggunakan one group pre-test post-test design. Subjek uji coba penelitian yaitu sebanyak 35 peserta didik kelas XI IA-5 SMA Negeri 4 Banjarbaru. Data diperoleh melalui lembar validasi modul ajar, lembar keterlaksanaan pembelajaran, dan lembar observasi KPS. Teknik analisis data secara deskriptif kualitatif dan kuantitatif. Hasil penelitian menunjukkan: 1) modul ajar termasuk sangat valid, karena memenuhi aspek-aspek yang sesuai dengan modul ajar Kurikulum Merdeka, 2) modul ajar termasuk praktis karena fase-fase model guided inquiry based learning terlaksana dengan baik, dan 3) modul ajar termasuk efektif, karena nilai n-gain menunjukkan kategori sedang. Dengan demikian, modul ajar fisika menggunakan model guided inquiry based learning layak digunakan untuk meningkatkan keterampilan proses sains peserta didik dalam pembelajaran fisika.

Kata kunci: modul ajar, guided inquiry based learning, dan keterampilan proses sains.